隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，掃描電子顯微技術(shù)和X射線微區(qū)分析已成為檢測物質(zhì)性能的重要手段。我國目前已擁有相當(dāng)數(shù)量的掃描電鏡和能譜儀，今后將會(huì)有更多的單位裝備這類先進(jìn)儀器。用于金屬、陶瓷、高分子、水泥、半導(dǎo)體、化工、礦產(chǎn)、紙張、食品等材料的顯微形貌觀察、相組織與晶體結(jié)構(gòu)分析、微區(qū)化學(xué)成分檢測等，對(duì)零部件的失效分析、納米或復(fù)合新材料的表征，是不可替代的設(shè)備。電子顯微分析應(yīng)用隊(duì)伍也在不斷壯大，均需要有合適的參考書籍以深入了解掃描電鏡和能譜儀的物理本質(zhì)、工作原理、主要結(jié)構(gòu)和實(shí)際應(yīng)用。

本文包含了上述基本內(nèi)容，另外，對(duì)近年來電子顯微分析技術(shù)的新進(jìn)展，如低電壓操作、可變壓力、環(huán)境掃描、電子背散射衍射、硅漂移探測器等，均做了詳實(shí)的介紹。對(duì)于掃描電鏡和能譜儀的應(yīng)用和樣品制備技術(shù)，根據(jù)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)提供切實(shí)可行的指導(dǎo)和建議。本書對(duì)于儀器使用、學(xué)生培養(yǎng)、科研工作上水平都是非常必要的。本文為適合不同專業(yè)和水平的讀者使用，盡量減少繁瑣的理論細(xì)節(jié)和數(shù)學(xué)推導(dǎo)，力求深入淺出地闡明問題，并結(jié)合多年的工作經(jīng)驗(yàn)，

在掃描電鏡和能譜儀應(yīng)用方面提供行之有效的建議。本書不僅適合作為高校教材，而且對(duì)于工礦、企業(yè)和公司等用戶也是一本技術(shù)性和實(shí)用性強(qiáng)的專業(yè)參考。